檢測儀器

為實現(xiàn)的目檢，需采用以下專用設(shè)備：
- 高倍率光學(xué)顯微鏡（放大倍數(shù)≥100X）：用于觀察微觀缺陷；
- 精密坐標(biāo)測量儀（分辨率≤1μm）：用于尺寸參數(shù)測量；
- X射線檢測儀：檢測封裝內(nèi)部結(jié)構(gòu)完整性；
- 溫度循環(huán)測試箱：驗證器件在極端溫度下的可靠性；
- 自動圖像比對系統(tǒng)：通過AI算法快速識別異常特征。

檢測方法

標(biāo)準(zhǔn)檢測流程包含以下步驟：
1. 外觀初篩：使用白光LED光源配合顯微鏡進(jìn)行表面缺陷檢測；
2. 尺寸校驗：通過光學(xué)投影儀或激光測距儀獲取精確幾何參數(shù)；
3. 電極測試：采用四探針法測量接觸電阻，輔以SEM分析表面形貌；
4. 溫度沖擊實驗：按MIL-STD-883標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行-55℃~150℃循環(huán)測試；
5. X射線斷層掃描：對批量樣品進(jìn)行內(nèi)部結(jié)構(gòu)無損檢測。

檢測標(biāo)準(zhǔn)

半導(dǎo)體二極管目檢需遵循以下與行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)：
- JEDEC JESD22-B101：半導(dǎo)體器件機(jī)械應(yīng)力測試規(guī)范；
- GB/T 17573-2021：半導(dǎo)體分立器件通用規(guī)范；
- GJB 128A-97：軍用半導(dǎo)體器件試驗方法；
- IEC 60749-20：表面安裝器件機(jī)械標(biāo)準(zhǔn)；
- AEC-Q101：汽車級分立器件認(rèn)證要求。

檢測結(jié)果需滿足器件數(shù)據(jù)手冊規(guī)定的參數(shù)容差范圍，并通過統(tǒng)計過程控制（SPC）分析確保批次一致性。對于汽車電子等關(guān)鍵領(lǐng)域，還需額外執(zhí)行ESD抗擾度測試和鹽霧試驗。