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本標準定義了掃描電子顯微術(SEM)實踐中使用的術語。包括一般術語和按技術分類的具體概念的術語,也包括已經(jīng)在ISO 23833中定義的術語。 本標準適用于所有有關SEM實踐的標準化文件。另外,本標準的某些術語定義,也適用于相關領域的文件〔例如:電子探針顯微分析(EPMA)、分析電子顯微術(AEM)、能譜法(EDX)等〕。
本標準表述了如何描述一臺俄歇電子能譜儀的特定性能。
本標準界定了金相學和金相檢驗及其相關領域的術語,主要涵蓋了光學顯微術、顯微壓痕硬度測試、樣品制備、X-射線和電子金相學、定量金相學、顯微攝影術、晶粒尺寸和夾雜物含量的測定等金相學領域中廣泛使用的專有名詞。本標準適用于金相學領域中的科研、生產(chǎn)、檢驗、教學、出版、編制標準及國內外科技交流。
本標準規(guī)定了單壁碳納米管的透射電子顯微術表征形貌的方法,及識別單壁碳納米管樣品中其他材料元素組成的能譜法。本標準適用于檢測單壁碳納米管的基本結構,包括形貌、缺陷、直徑分布、管束大小和取向、結晶情況,以及元素組分和手性分析等。
本標準提供了表面化學分析樣品安裝和表面處理方法的指導。目的是幫助分析人員理解在使用俄歇電子能譜、二次離子質譜和X射線光電子能譜等表面分析技術進行分析時,所必需的專門樣品處理條件。
本標準規(guī)定了利用SEM和EDX分析單壁碳納米管粗產(chǎn)品及純化后粉末或薄膜產(chǎn)品的形態(tài)、元素組成、催化劑和其他無機雜質的測試方法。本標準適用于單壁碳納米管的特性分析,亦可用于多壁碳納米管(multiwall carbon nanotubes,簡稱MWCNTs)的特性分析。
本標準規(guī)定了生物試樣掃描電子顯微鏡分析的技術要求和規(guī)范。本標準適用于各種類型的掃描電子顯微鏡。
本標準導則適用于俄歇電子能譜術(AES)和X射線光電子能譜術(XPS),也適用于其他表面靈敏分析技術。 本標準導則可能涉及有害的操作、設備及物質,但沒有說明所有相關的安全問題。使用者在使用本導則前,應該制定適當?shù)陌踩c保健措施,并確定本導則的應用范圍。
本標準規(guī)定了微電子學光掩蔽技術的有關術語。 本標準適用于黴電子學光掩蔽技術的科研、生產(chǎn)、教學、貿(mào)易和技術交流。
本標準規(guī)定了六硼化鑭產(chǎn)品的要求、試驗方法、檢驗規(guī)則與標志、包裝、運輸、貯存及質量證明書。本標準適用于以碳化硼(或純硼)還原氧化鑭等方法制得的六硼化鑭粉末、經(jīng)熱壓及電弧法制得的六硼化鑭,主要用于陰極發(fā)射材料,應用于電子顯微鏡、電子束焊接、放電管等領域。
本部分規(guī)定了六硼化鑭中硼含量的測定方法。本部分適用于六硼化鑭硼含量的測定,測定范圍:20.00%~40.00%。
本部分規(guī)定了六硼化鑭中鐵、鈣、鎂、鉻、錳、銅含量的測定方法。本部分適用于六硼化鑭中鐵、鈣、鎂、鉻、錳、銅含量的測定,測定范圍見表1。
本部分規(guī)定了六硼化鑭中鎢含量的測定方法。本部分適用于六硼化鑭中鎢含量的測定。測定范圍:0.0010%~0.10%。
本部分規(guī)定了六硼化鑭中碳含量的測定方法。本部分適用于六硼化鑭中碳含量的測定。測定范圍:0.015%~1.00%。
本部分規(guī)定了六硼化鑭酸溶硅含量的測定方法。本部分適用于六硼化鑭酸溶硅含量的測定。測定范圍:0.0020%~0.10%。
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