薄膜集成電路用氧化鋁陶瓷基片檢測

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GB/T 14620-2013薄膜集成電路用氧化鋁陶瓷基片

本標準規定了薄膜集成電路用氧化鋁陶瓷基片的要求、測試方法、檢驗規則、標志、包裝、運輸和貯存。本標準適用于薄膜集成電路用氧化鋁陶瓷基片(以下簡稱“基片”)的生產和采購,采用薄膜工藝的片式元件用氧化鋁陶瓷基片也可參照使用。