GB/T 38447-2020 微機電系統(MEMS)技術 MEMS結構共振疲勞試驗方法

　　標準號：GB/T 38447-2020

　　中文標準名稱：微機電系統(MEMS)技術 MEMS結構共振疲勞試驗方法

　　英文標準名稱：Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration

　　中國標準分類號

　　(CCS)L55

　　標準分類號

　　(ICS)31.200

　　發布日期

　　2020-03-06

　　實施日期

　　2020-07-01

　　主管部門

　　標準化管理委員會

　　歸口單位

　　微機電技術標準化技術委員會

　　主要起草單位

　　北京大學 、中機生產力促進中心 、北京智芯傳感科技有限公司 、沈陽國儀檢測技術有限公司 、浙江博亞精密機械有限公司 、中北大學 、北京必創科技股份有限公司 。

　　主要起草人

　　張威 、張亞婷 、于振毅 、陸學貴 、朱悅 、石云波 、李海斌 、程逸軒 、周浩楠 、陳得民 。

　　相近標準(計劃)

　　20171123-T-469 微機電系統(MEMS)技術 MEMS結構共振疲勞試驗方法

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