GB/T 32280-2015 硅片翹曲度測試 自動非接觸掃描法

標準號：GB/T 32280-2015

　　中文標準名稱：硅片翹曲度測試 自動非接觸掃描法

　　英文標準名稱：Test method for warp of silicon wafers—Automated non-contact scanning method

　　標準狀態：現行

　　中國標準分類號：(CCS)H21

　　標準分類號：(ICS)77.040

　　發布日期：2015-12-10

　　實施日期：2017-01-01

　　主管部門：標準化管理委員會

　　歸口單位：半導體設備和材料標準化技術委員會

主要起草單位

　　有研半導體材料股份有限公司 、上海合晶硅材料有限公司 、杭州海納半導體有限公司 、浙江金瑞泓科技股份有限公司 、浙江省硅材料質量檢驗中心 、東莞市華源光電科技有限公司 。

主要起草人

　　孫燕 、何宇 、徐新華 、王飛堯 、張海英 、樓春蘭 、向興龍 。

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