GB/T 35310-2017 200mm硅外延片

標準號：GB/T 35310-2017

中文標準名稱：200mm硅外延片

英文標準名稱：200mm silicon epitaxial wafer

標準狀態：現行

中國標準分類號：(CCS)H82

標準分類號：(ICS)29.045

發布日期：2017-12-29

實施日期：2018-07-01

主管部門：標準化管理委員會

歸口單位：半導體設備和材料標準化技術委員會

主要起草單位

南京國盛電子有限公司 、有色金屬技術經濟研究院 。

主要起草人

馬林寶 、駱紅 、楊帆 、金龍 、楊素心 。

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