GB/T 36053-2018? X射線反射法測量薄膜的厚度、密度和界面寬度 儀器要求、準直和定位、數據采集、數據分析和報告

標準號：GB/T 36053-2018 

中文標準名稱：X射線反射法測量薄膜的厚度、密度和界面寬度 儀器要求、準直和定位、數據采集、數據分析和報告

英文標準名稱：Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry—Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting

標準狀態：現行

主要起草單位

中國計量科學研究院 。

主要起草人

王海 、王梅玲 、張艾蕊 、宋小平 。

采標情況

本標準等同采用ISO標準：ISO 16413:2013。

采標中文名稱:X射線反射測量法評估薄膜的厚度、密度和界面寬度—儀器要求、準直和定位、數據采集、數據分析和報告。