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400-635-0567Test method for phosphorus content in polycrystalline silicon by zone-melting method under controlled atmosphere
標準 推薦性 即將實施標準《硅多晶氣氛區熔基磷檢驗方法》由TC203(半導體設備和材料標準化技術委員會)歸口上報,TC203SC2(半導體設備和材料標準化技術委員會材料分會)執行,主管部門為標準化管理委員會。
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20153657-T-469 硅多晶氣氛區熔基磷檢驗方法
GB/T 4059-2007 硅多晶氣氛區熔基磷檢驗方法
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