GB/T 37049-2018 電子級多晶硅中基體金屬雜質含量的測定 電感耦合等離子體質譜法

GB/T 37049-2018 電子級多晶硅中基體金屬雜質含量的測定 電感耦合等離子體質譜法

　　Test method for the content of metal impurity in electronic grade polysilicon—Inductively coupled-plasma mass spectrometry method

　　標準 推薦性 現行標準《電子級多晶硅中基體金屬雜質含量的測定 電感耦合等離子體質譜法》由TC203(半導體設備和材料標準化技術委員會)歸口上報及執行，主管部門為標準化管理委員會。

GB/T 37049-2018主要起草單位

江蘇中能硅業科技發展有限公司 、青海黃河上游水電開發有限責任公司新能源分公司 、有研半導體材料有限公司 、宜昌南玻硅材料有限公司 、新特能源股份有限公司 、洛陽中硅高科技有限公司 。

GB/T 37049-2018主要起草人

魯文鋒 、劉曉霞 、秦榕 、孫燕 、趙而敬 、王桃霞 、趙玉 、王忠慧 、柳德發 、張園園 、銀波 、邱艷梅 、劉強 。

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